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案例二-事業(晶圓製造及半導體製造業)

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一、改善措施

  1. 增設第三套廢水(C-line)處理設備,以增加處理設備承載量。
  2. 修復處理設備中(A-line)控電盤,使廢水系統(A-line)可以完全控制及預警並增設電盤監視,重複確認水質是否異常。
  3. 重點處理流程設定監控儀器,超過設定值則回流廢水杜絕超標。
  4. 增設再監視盤,重覆確認水質是否異常。
  5. 警衛室與產線端增設廢水處理系統異常警報,增加人員協助確認機制。
  6. 強化高濃度製程廢液分流,降低廢水處理設備負荷。

 

增設第三套廢水處理設備,以增加處理設備承載量。(詳如上述內文)

 

二、改善成果

排放水質有減低趨勢,其中以COD及鎳最為明顯。

年度 105年度 106年度 107年度 108年度
COD排放量(公斤) 22,430.1 21,125.6 9,725.7 11,274.5
鎳排放量(公斤) 143.1 9.6 15.2 12.3